簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="氣壓\u002D壓電伺服定位XYZ平台"


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    智慧型長行程奈米精度氣壓-壓電混合精密伺服YZ定位控制
    • /93/ 碩士
    • 研究生: 吳佳勳 指導教授: 江茂雄
    • 本文旨在應用無桿氣壓缸結合壓電致動器,發展XYZ 三軸長行程奈米精度伺服定位平台與控制,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作補償。其中X 軸為獨立軸,YZ 兩軸固定在一起,構成龍門型…
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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